關(guān)于施密科

蘇州施密科微電子設(shè)備有限公司位于以“人間天堂”、“園林之城”而聞名天下的蘇州，公司成立于2017年，是一家集研發(fā)，生產(chǎn)，銷售為一體的濕法制程設(shè)備制造商；服務(wù)于晶圓襯底材料、化合物半導(dǎo)體、SAW、IGBT、MEMS、先進(jìn)封裝等多個(gè)領(lǐng)域。

公司核心團(tuán)隊(duì)均由十年以上從業(yè)經(jīng)驗(yàn)的行業(yè)精英組成，擁有豐富的半導(dǎo)體行業(yè)高端項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn)；目前我司已與國內(nèi)外多家知名企業(yè)展開合作，憑借先進(jìn)的研發(fā)技術(shù)、精尖的人才梯隊(duì)和豐富的產(chǎn)品線，贏得了客戶的一致好評(píng)及信賴。

產(chǎn)品介紹

全自動(dòng)RCA清洗機(jī)

應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路 硅片 碳化硅 硅部件 氮化鎵  砷化鎵  InP LN/TN等化合物襯底片及外延片 RCA清洗

設(shè)備特點(diǎn)：

• 一體式人機(jī)操作系統(tǒng)，連續(xù)式自動(dòng)化生產(chǎn)，工作效率高，節(jié)約人工成本；

• 軟件與硬件為模塊化設(shè)計(jì)；

• 馬蘭戈尼干燥破片率低，潔凈度高；

• 采用PC+PLC控制，支持GEM/SECS接口；

• 具有數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能，供用戶使用讀取。

  
  

全自動(dòng)拋光后清洗機(jī)

應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路 晶圓片8/12硅片 碳化硅 氮化鎵  砷化鎵  InP LN/TN等化合物襯底片拋光后清洗

設(shè)備特點(diǎn)：

• 整機(jī)清洗部分為全封閉結(jié)構(gòu)，裝有可拆卸觀察檢修門及監(jiān)控系統(tǒng)；

• 專用排風(fēng)及排廢系統(tǒng)，提高設(shè)備安全性；

• 槽體采用流場(chǎng)控制技術(shù)，循環(huán)分流控制；

• 設(shè)備占地面積??；

• 各工序參數(shù)可于PLC觸摸屏內(nèi)直接設(shè)定，操作簡(jiǎn)單。

全自動(dòng)研磨后清洗機(jī)

應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路 晶圓片8/12硅片 6/8碳化硅 硅部件 LN/TN 砷化鎵等化合物襯底片和研磨后清洗

設(shè)備特點(diǎn)：

• 設(shè)備帶有MES功能，優(yōu)質(zhì)PP框架，全封閉結(jié)構(gòu)；

• 觸摸式人機(jī)交互界面，全自動(dòng)控制系統(tǒng)；

• 自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng)；

• 生產(chǎn)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄，具有多種數(shù)據(jù)分析及存儲(chǔ)功能；

• 部件采用知名品牌，性能可靠，使用壽命長，故障率低。

拋光液供液系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路（IC）和超大規(guī)模集成電路（ULSI）中對(duì)基體材料硅晶片的拋光液集中混配和集中供液

設(shè)備特點(diǎn)：

• 可實(shí)現(xiàn)拋光液原液供給，原液到混配供給，原液到混配到多路分配供給；

• 混液可配置自循環(huán)，電機(jī)攪拌，比重計(jì)，PH計(jì)，溫度計(jì)，濃度計(jì)等功能；

• 采用耐腐蝕導(dǎo)線并通過耐腐蝕PE管進(jìn)行保護(hù)，防腐防水；

• 配有接地裝置及緊急關(guān)機(jī)和報(bào)警系統(tǒng)。